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在我國“潔凈廠(chǎng)房設計規范”GB 50073-2002中對潔凈室潔凈度等級已做出了規定（見(jiàn)下表），這一規定是采用了國際標準ISO 14644中的潔凈度等級。目前，我國、歐盟、日本、俄羅斯等國的潔凈度等級均采用或參照上述國際標準來(lái)制訂本國或本地區的潔凈室潔凈度的等級標準。美國也將本國的FS 209E中潔凈度等級標準修改為ISO 14644標準。
潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子的潔凈度等級（ISO 14644）
|
空氣潔凈度等級（N） |
≥表中粒徑的最大濃度限值（個(gè)/m3） |
|||||
|
0.1 μm |
0.2 μm |
0.3 μm |
0.5 μm |
1 μm |
5 μm |
|
|
1 |
10 |
2 |
/ |
/ |
/ |
/ |
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
/ |
/ |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
/ |
|
4 |
10,000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
/ |
|
5 |
100,000 |
23700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
|
6 |
1,000,000 |
237000 |
102,000 |
35,200 |
8320 |
293 |
|
7 |
/ |
/ |
/ |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
|
8 |
/ |
/ |
/ |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
|
9 |
/ |
/ |
/ |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注：
① 每點(diǎn)至少采樣3次。
② 本標準不適用表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。
③ 根據工藝要求可確定1~2個(gè)粒徑。
④ 根據要求粒徑D的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑0.1μm~5μm）
式中: N —為潔凈度等級可在1~9級中間以0.1為最小單位遞增量插入。
CN —大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度（PC/m3），以四舍五入至近似的整數，有效位數不超過(guò)三位數。
D —要求的粒徑（μm）。
0.1—常數（μm）。
