掃描電子顯微鏡-電子顯微鏡的基本結構和成像原理　

　

掃描電子顯微鏡的主要特點(diǎn)是景深大，圖象富有立體感，制樣簡(jiǎn)便，在觀(guān)察形貌的同時(shí)，還可利用樣品發(fā)出的其他信息在微小區域上作成分分析和晶體結構分析。掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡各有特點(diǎn)，因此兩者呈互相取長(cháng)補短的關(guān)系。其基本結構及成像原理如圖12-4。  　　　　　圖12-4 掃描電鏡的基本結構及成像原理　　　           ——自洪濤等 　　電子槍發(fā)射的電子束經(jīng)加速電壓加速后由第一聚光鏡、第二聚光鏡組成的電子光學(xué)系統形成一個(gè)直徑小于10nm的極細的電子束并聚焦于樣品表面。當電子束以適當角度打在樣品表面時(shí)，將產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子、X射線(xiàn)、透射電子等電子信息。信息的大小與樣品的性質(zhì)及表面形貌相關(guān)。根據不同的目的，利用不同的信息，可形成不同的像。在觀(guān)察樣品形貌時(shí)，檢取的主要是二次電子及部分背散射電子。讓電子束逐點(diǎn)掃描樣品表面，并用探測器檢取電子信息，再經(jīng)放大器放大后調制顯像管的光點(diǎn)亮度。由于顯像管的偏轉線(xiàn)圈電流與掃描線(xiàn)圈電流同步，因此，探測器檢取的信息便在顯像管熒光屏上形成反映樣品表面形貌或性質(zhì)的掃描電子圖像�！　�掃描電鏡的放大倍數為顯像管掃描線(xiàn)長(cháng)度與樣品掃描線(xiàn)長(cháng)度之比，因此，只要調節掃描線(xiàn)圈中電流的大小，就可改變放大倍數�！　�掃描電鏡一般有兩個(gè)顯像管，一個(gè)是長(cháng)余輝的，可減少閃爍現象，觀(guān)察時(shí)使用；另一個(gè)是短余輝的，照相時(shí)使用。二者由轉換開(kāi)關(guān)選擇。